北京海创微元科技有限公司：
你单位报送的《北京海创微元科技有限公司6英寸MEMS晶圆中试生产线和研发平台建设项目环境影响报告表》及有关材料收悉。经审查，批复如下：
一、拟建项目位于北京市怀柔区怀柔新城0101街区怀柔科学城产业转化示范区A1栋，租用A1栋厂房部分区域进行项目建设，不增加土建内容。主要建设定位为具备研发与生产一体的MEMS晶圆中试生产线，聚焦新产品开发、现有技术、生产工艺优化、规模化生产验证等任务，为现有生产线输送更先进稳定的产品技术，为未来新建生产线储备多层次、全方位的技术保障。设计产能3000片/月，主要包括DUV光刻机、PVD、CVD、CMP等设备。项目占地面积10000平方米，建筑面积14800平方米。总投资50000万元，其中环保投资1330万元。项目主要环境问题是运营期产生的废气、废水、噪声、固体废物，在全面落实环境影响报告表和本批复提出的各项生态环境保护措施后，从环保角度分析，我局原则同意该项目建设。
二、拟建项目运营应重点做好以下工作
（一）生产废气中的颗粒物、氯化氢、氮氧化物、氯气、氟化物、硫酸雾、氨、非甲烷总烃、苯系物排放执行北京市《电子工业大气污染物排放标准》（DB 11/ 1631-2019）表1、表2中的排放限值；二氧化硫、砷及其化合物排放执行北京市《大气污染物综合排放标准》（DB11/501-2017）表3中Ⅱ时段的排放限值，有机废气排气筒排放的二氧化硫执行北京市《大气污染物综合排放标准》（DB11/501-2017）表2中的排放限值。
（二）生产废水依托园区污水处理站处理后汇入园区总排口，生活污水经化粪池处理后汇入园区总排口，经园区总排口排入市政污水管网，最终进入北京北排京怀水务科技发展有限公司（怀柔区污水处理厂）集中处理。园区总排口废水排放执行北京市《水污染物综合排放标准》（DB 11/307-2013）表3中的排放限值。同时6英寸及以下芯片单位产品基准排水量，还应满足《电子工业水污染物排放标准》（GB 39731-2020）表2中单位产品基准排水量3.2m3/片的要求。
（三）应通过选用低噪声设备、合理布局、采取减振及隔声等措施，有效控制噪声污染。运营期厂界噪声排放执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中相关标准要求。
（四）项目运营过程中产生的固体废物按照《中华人民共和国固体废物污染环境防治法》中相关规定进行分类收集，妥善处理。运营期危险废物暂存于危险废物暂存间，定期交由有危险废物处置资质的单位清运处置。
（五）按照测算，项目建成后化学需氧量排放量1.328吨/年，氨氮排放量0.159吨/年，颗粒物排放量0.5151吨/年，二氧化硫排放量0.6438吨/年，氮氧化物排放量2.6938吨/年,挥发性有机物排放量0.3099吨/年。
三、项目建设须严格执行配套的环境保护设施与主体工程同时设计、同时施工、同时投产使用的环境保护“三同时”制度。
四、自环境影响报告表批复之日起五年内项目未能开工建设，本批复自动失效。项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺及环保措施发生重大变动，应重新报批建设项目环评文件。
五、项目竣工后须按照有关规定办理环保验收。
此复。
北京市怀柔区生态环境局
2025年12月24日
